真心看不懂~
暗场数字全息显微术，晶圆问题“看得见”
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随着集成电路特征尺寸的持续减小，对覆盖计量工具的精确性和准确性需求也相应增加。这是因为更小的特征尺寸意味着更严格的容错标准，任何微小的误差都可能导致电路功能失效或性能下降。因此，发展能够在亚纳米级别上提供精确测量的工具变得至关重要，覆盖计量工具的提升，特别是在精度和分辨率方面，是实现这一目标的关键。 鉴于此，荷兰阿姆斯特丹……
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真心看不懂~
