国产光刻机或将迎突破，清华发布“稳态微聚束”技术

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视频介绍

光刻机一直是我国芯片制造路上的最大障碍，但近日清华大学发布的一种新型粒子加速器光源 “稳态微聚束”（SSMB）技术，有望解决自主研发光刻机中最核心的卡脖子难题。SSMB原理是什么？SSMB工作原理就是利用一定波长的激光操控位于储存环MLS内的电子束，使电子束绕环一整圈后形成精细的微结构，即微聚束。然后，微聚束在激光波长及其高次谐波上辐射出高强度的窄带宽相干光。SSMB能为EUV光刻机做什么？众所周知，5nm及以下的芯片必须要极紫外光的EUV光刻机才能完成。而SSMB技术，可以通过稳态微聚束的电子流可以激发窄带宽相关光。这个光源的波长可覆盖从太赫兹到极紫外EUV波段。也就是说，它有可能成为EUV光刻机光源的新技术。同时，基于SSMB技术的光源，拥有高功率、高重频、窄带宽的特点。而这些特点也正是EUV光刻机希望提升的地方。EUV光刻机光源的功率越高，芯片刻录速度就越快。这次清华大学工研究组发布的SSMB技术，是EUV光刻机领域的一个重大突破。为国产EUV光刻机奠定了技术基础，也为将来不被卡脖子扫平了一个障碍。