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按照命名法，目前只有EUV光刻机、DUV光刻机，其中DUV又有各种小分类，而这些光刻机，又对应不同的工艺制程的
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我来说几句
不仅要投资半导体设备、材料企业，还要想办法让下游的企业，有动力用国产芯片，而芯片企业有动力购买国产设备、国产材料，这个过程需要巨额投资，更需要时间，不是一台光刻机就能够解决的事情。
再难也是人造的，中国人从无到有，到今天从来不是靠谁的施舍。
说困难当然是一大堆，但所有的路都只能自己走，一步步都是前进，抱怨解决不了自己处境。
