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打破日本垄断，韩国成功研发EUV光刻胶，我国光刻胶破局之路难在哪儿
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最新消息，东进半导体19日宣布，近期通过了三星电子的EUV光刻胶可靠性测试。EUV光刻工艺除了需要EUV光刻机之外，也需要配套的EUV光刻胶，目前这一市场也主要被日本厂商垄断，现在三星与韩国半导体厂商东进合作开发成功EUV光刻胶，已经通过验证。

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