造光刻机需要哪些技术,国产光刻机如何了?

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视频介绍

没有任何一个国家的人比中国人更想造出顶级光刻机。因为光刻机,这种高精密芯片制造设备,是当前中国半导体的软肋。2002年,光刻机就被列入国家863重大科技攻关计划,经过快20年的研发,中国光刻机技术进展如何?取得了哪些重大突破?虽然制造光刻机涉及的产业体系非常庞大,但简单来说,主要是两点。

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