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相对于单光子光刻,由于多光子吸收为非线性,使得反应发生在光斑聚焦的中心区域,从而具有更好的空间分辨率,避免了叠加效应,目前已在生物学、微光学、微机械、微电子、超材料等诸多领域得到了广泛应用。 但速度和材料兼容性方面的限制一直束缚着它的发展。现在,研究人员向前迈出了一大步……
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