大大提高资源利用率
一种多晶硅生产的新方法，有效提高还原沉淀反应效率
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近日，一种用于多晶硅生产提高还原沉积反应效率的方法，能将三氯氢硅和二氯二氢硅液体，分别采用独立的汽化器和过热器，分别进行汽化和过热，三氯氢硅气体、二氯二氢硅气体及高纯氢气通过各自独立的流量控制单元，在生产过程中合适的时间控制，合适的配比和流量进入还原炉进行反应。该法能将多晶硅的有效转化率，可从之前的8.5%提升至10%以上。
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