先进光刻技术竟传承自古老活字印刷术?!走进纳米压印光刻的世界

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视频介绍

很多人对光刻机的了解,或许都是因为同一家公司:来自荷兰的ASML。 光刻机的是操纵光的魔法师。它一方面是人类所创造的最复杂的机器,但它的原理又很简单:光线透过刻录着电路图的模板,再照射到硅片的光刻胶上,让其曝光而变性,电路图案便复制到了硅片上。 听起来是不是有点像传统胶卷相机的原理?实际上,也确实有一家我们耳熟能详的相机公司,同样是光刻机的制造商。 这家公司,就是佳能。对于芯片的造法,和光刻机的用法,佳能有着自己独特的方法论,即纳米压印光刻

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借口科普一下,全球的光刻机目前主要分两类,EUV与DUV。简单来说,EUV主要用于7nm及更先进的制程,在这个市场中,来自荷兰的阿斯麦一家独大。而在14nm以及更成熟的制程中,则主要使用的是DUV设备,这一市场则由阿斯麦以及日本的佳能、尼康三分天下。而在7nm以下制程,佳能想要用NIL替代阿斯麦的EUV。
不能指望日本,到时候美国一纸禁令,日本一样不敢向我国出口设备,所以只能靠我们自己突破
最多合作开发,不能拿来主义
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