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说到芯片制造,光刻机可能是其中最引人注目的,但在芯片制造过程中,还有一个不那么起眼的步骤,那就是清洗。人有“洁癖”,芯片也有,在工艺以纳米度量的时代,芯片见不得任何脏东西。所以清洗能够占据30%以上的半导体制造工序步骤。
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