PVD溅射过程是如何工作的?它一般应用在那些领域

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视频介绍

在许多工业中,使用薄层材料是一种至关重要的需要。建筑玻璃、显示器、触摸板或太阳能电池都含有薄膜。产生这些薄层的最重要的涂层工艺称为溅射沉积。溅射沉积是用高能粒子轰击靶材,使靶材中的原子溅射出来,沉积在基底表面形成薄膜的方法。在电场的作用下,电子加速到衬底并与氧原子碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向衬底。在电场的作用下,气体离子氩离子加速攻击目标,释放出大量的目标物质,在基板上沉积中性原子(或分子)膜。溅射薄膜根据其不同的功能和应用可大致可分为机械功能膜与物理功能膜两大类。前者包括耐磨、抗磨、耐热、耐腐蚀等表面强化薄膜材料、固体润滑膜材料;后者包括电、磁、声、光学等功能薄膜材料。溅射法制备二硫化钼膜和聚四氟乙烯膜是非常有效的。试验表明,聚合物薄膜的润滑性能不受环境湿度的影响,可长期在大气环境中使用,是一种很有前途的固体润滑剂。二硫化钼、聚四氟乙烯等溅射膜,在长时间放置后性能变化不大,这是长时间准备,具有,突然使用和要求可靠的设备,如防震,报警,防火,非常有效。另外,根据物质微观理论、量子力学和原子物理我们知道,当气体正离子撞击到达目标时,除了溅射原子外,还会有其他粒子发射到目标上,并产生发射。所有这些过程都会影响薄膜的性能。好了,今天节目就到这里,我们下期再见。

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