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半导体检测虽不直接参与生产,却是厂商市场竞争能力的关键影响因素。 检测工艺根据所处的环节主要有前道量检测和后道检测两类。 前道量检测位于晶圆制造环节,检测设备种类繁多,其中,椭偏仪是比较重要的设备。
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我来说几句
再来点体检设备的科普!!!