光刻机知道,那你知道离子注入机吗?芯片制造四大核心装备之一!

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视频介绍

在半导体晶圆制造过程中,要使纯净硅具有可控的导电能力,就必须要加入少量杂质使其结构和电导率发生改变,这个过程被称为掺杂,是半导体注入灵魂的关键环节。 目前掺杂主要有高温热扩散法和离子注入法两种,离子注入占据着主流地位,在今天的视频中,我们就来聊一聊离子注入机。 什么是离子注入机?

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之前还真不知道它...
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