在硅表面制备微纳结构,有关激光诱导表面周期性结构的那些事

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视频介绍

我们日常使用的电子和光学设备,如智能手机、LED和太阳能电池,其使用的晶体管和其他部件正变得更小、更紧凑。且随着对计算能力、存储和能源效率的需求不断增长,这种趋势只会发展到新的极端。 为电子设备生产如此小的部件需要加工和制备亚微米尺度的结构,目前用于纳米表面制造的方法使用的是光刻和电子束光刻,这些方法非常复杂、极其昂贵,通常难以获得,而且需要高水平的专业知识。 激光诱导的周期性表面结构(Laser-induced periodic surface structure,LIPSS)被认为是一种新的、有前景的替代方法。

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