真空度测量新方法,即插即用型冷原子真空计

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视频介绍

精确的压力测量对半导体制造者来说具有迫切的意义,这是因为它们需要在真空室中一层一层地制造芯片,其压力为海平面空气压力的千亿分之一或以下,并且必须严格控制这种环境以确保产品质量。 然而,传统电离仪将随着时间的推移变得不可靠,需要定期重新校准,且它们也不兼容新的国际单位制(SI)基础上的基本的、不变的常数和量子现象。 有鉴于此,美国国家标准与技术研究所的研究人员开发的一种新颖的、基于量子的便携式冷原子真空计系统pCAVS,或将成为一个新行业标准。

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