让测量更“入微”！白光干涉仪原理全解析
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随着新兴技术的高速发展，超精密加工技术不断进步。同时对微结构表面形貌测量的要求，也日渐提高，更加追求高精度和高可靠性。表面形貌测量广泛应用于刀具检测、精密加工、材料科学、电子工业等相关领域，微结构的表面三维形貌会对器件的可靠性和使用性能产生显著的影响，同时也可反映工件加工的好坏，以改善工件质量。今天就来介绍一种适用性广的表面形貌测量方法白光干涉测量法
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